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为解决微位移技术中的大行程和高分辨率之间的矛盾，研制了用象蚯蚓一样爬行的沿矩形导轨爬行的柔性框架式爬行器驱动的二维精密微动工作台，使微动工作台的行程达到毫米级，而仍然保持较高的分辨率。
二维精密微动工作台的研制
【摘 要】
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为解决微位移技术中的大行程和高分辨率之间的矛盾，研制了用象蚯蚓一样爬行的沿矩形导轨爬行的柔性框架式爬行器驱动的二维精密微动工作台，使微动工作台的行程达到毫米级，而仍然
【机 构】
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交通大学自动化系
【出 处】
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全国第四届自动化应用技术交流会
【发表日期】
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1998年7期
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