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采用双层辉光等离子渗硼技术，以固体化合物FeB为硼源在Ti6Al4V合金基体上制备了渗硼层，研究了等离子渗硼过程中不同温度下源极的溅射行为及其对渗硼层的影响。通过对等离子溅射前后的源极及试样质量变化的测量，计算分析了不同温度下的源极溅射量和试样吸收率，采用光学图像分析仪和辉光光谱分析仪检测了不同试样温度下的渗硼改性层的厚度和元素分布。结果表明：温度越高源极溅射量越大、渗硼层越厚。