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本文介绍了冶金行业溅射用电子枪的计算,通过计算,指导了冶炼电子枪的实际设计,同时验证了计算模型和程序可信性。
溅射用电子枪的模拟计算
【摘 要】
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本文介绍了冶金行业溅射用电子枪的计算,通过计算,指导了冶炼电子枪的实际设计,同时验证了计算模型和程序可信性。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十二研究所 北京 100016
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十六届学术年会暨军用微波管研讨会
【发表日期】
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2007年期
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