（１００）Ｓｉ在ＫＯＨ中各向异性腐蚀的凸角补偿研究

来源 :第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hello_tyj

【作者】

：

张庆鑫刘理天

【机构】

：

大学微电子学研究所

【出处】

：

第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议

【发表日期】

：

1995年期

【关键词】

：

各向异性腐蚀凸角

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