低气压低功率高电压放电等离子体的电子密度诊断

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本文利用朗缪尔探针对某种混合气体(主要成分为氩气)高压放电所产生等离子体的密度进行了诊断。实验结果表明:当气压为100-300Pa、高压输出功率为100W-800W时,电子密度最高可达2.66×1018m-3;在相同气压下,电子密度随着高压电源输出功率的增大而明显增大;当电源输出功率不变时,随着气压的增大,电子密度先增大后减小。
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