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本文从分析AOI市场新需求出发，结合本公司在该领域的技术积累，提出了针对Stencil/Mask微细尺寸高精度测量和产品缺陷快速检测功能相结合的Stencil AOMI系统解决方案，重点介绍了Stencil AOMI系统的测晕功能(M)和检测功能(I)开发的新思路及技术特点，并系统地介绍了Stencil AOMI解决方案，最后给出了Stencil AOMI在实际生产中的具体应用实例及客户的MAC评审结果。