【摘 要】
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基于功能化石墨烯(如氟化/氢化石墨烯)对电子束辐照的敏感特性，电子束激励脱附(ESD)被认为是通过电子束选区图形化的扫描功能化石墨烯，可实现全石墨烯结构电路与器件的可能
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
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基于功能化石墨烯(如氟化/氢化石墨烯)对电子束辐照的敏感特性，电子束激励脱附(ESD)被认为是通过电子束选区图形化的扫描功能化石墨烯，可实现全石墨烯结构电路与器件的可能途径.本文，采用低能电子束辐照氟化石墨烯，并采用拉曼、电性能表征，以及X射线光电子能谱(XPS)等手段研究了氟化石墨烯性能在电子束辐照之后的变化.拉曼光谱和电性能表征表明具有石墨烯特征的晶体结构与电性能在辐照之后部分恢复.XPS表征结果表明氟化石墨烯表面氟元素浓度在开始电子束辐照的前15分钟迅速从35％降至15％，而在后30分钟变化缓慢，仅降至10％.以上结果表明电子束具有激励氟化石墨烯表面氟元素脱附的作用，然而并不能使得氟元素完全脱附.这对于采用ESD制备全石墨烯电路与器件来说是一个挑战.
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