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本文报告我们对定向凝固生长多晶硅冷却过程中热应力演变与位错形成的分析,提出一种硅晶体中位错增殖累积的热力积分估算模型,并公开一种定向凝固生长多晶硅锭冷却过程的优化方案-它具有显著降低硅锭中位错密度,同时缩短工时、降低能耗和气耗的潜在优势.文中采用耦合了热场与应力应变场的数值计算模拟对该方案进行了分析验证.