而深紫外LED一旦达到实用化水平，就可以取代现有的杀菌用汞灯，而且由于其尺寸比汞灯小得多，还能实现便携式杀菌消毒系统，甚至还能创造医疗诊断及医疗分析等新市场。因此业内一直都在推进相关开发，但面临的主要课题是输出功率不高。据日经技术在线报道，NICT声称此次将原来采用的蓝宝石基板换成氮化铝(AlN)基板，开发出了深紫外LED。AlN基板的特点是晶体缺陷比蓝宝石基板大幅减少。但是，以前AlN基板存在折射率大、光提取效率非常低的问题。 NICT在作为光提取面的AIN基板表面形成了由尺寸与波长基本相同的结构—二维光子晶体结构，以及尺寸比波长小的纳米结构组合而成的图案。光提取效率达到未做这种表面加工时的196％(约为原来的3倍)。其外部量子效率为6.3%(电流为200mA时)，据NICT介绍，这在270nm以下波长中属于全球最高值。