【摘 要】
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激光微孔成型技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料(包括金属与非金属)进行微钻孔加工,是涉及光、机、电、计算机控制、材料特性及检测等多学科综合技术。分析异形微孔
【机 构】
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上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室200233
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激光微孔成型技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料(包括金属与非金属)进行微钻孔加工,是涉及光、机、电、计算机控制、材料特性及检测等多学科综合技术。分析异形微孔激光加工的现状,开展了折射式扫描系统的设计和应用研究.利用振镜电机快速改变折射式光学元件组相对激光束光轴的角度,从而精确控制激光聚焦光斑在加工面上的微小位移值。
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