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本文用XPS(X射线光电子能谱)的Scofield计算灵敏度因子法和Wagner经验灵敏度因子法对生长在硅片上的铕硅酸盐薄膜(约200nm厚)样品中的组分进行了分析测试，并讨论了那种方法更接近于真值，最后对影响定量分析的因素进行了总结和分析。
XPS定量分析探讨
【摘 要】
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本文用XPS(X射线光电子能谱)的Scofield计算灵敏度因子法和Wagner经验灵敏度因子法对生长在硅片上的铕硅酸盐薄膜(约200nm厚)样品中的组分进行了分析测试，并讨论了那种方法更
【机 构】
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北京师范大学分析测试中心 100875
【出 处】
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2009年全国第二届电磁材料及器件学术会议
【发表日期】
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2009年期
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