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在以往的测量三维面形的装置中，其产生激光干涉投影条纹的装置较大，且干涉条纹较容易受外界的影响面貌一新漂移和抖动，影响测量结果精度的提高，该文提出了用离轴全息干涉条纹替代位相测量轮廓术中的激光干涉仪投影条纹，并将其用于实际测量中，实验结果表明：该方法产生干涉条纹的装置简单，光能利用率高，易于移相和解调，这使得三维形貌检测精度高、速度快，实用性更强。