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LBO晶体是非常重要的非线性光学晶体,而其精密抛光加工技术是其大尺寸应用的关键.固结磨料抛光技术把抛光粉固结在抛光垫中,采用不含抛光粉的抛光液加工,避免抛光粉颗粒损伤晶体表面,提高材料去除率和工件的表面质量;固结磨料抛光技术是高效高精度加工技术、是精密加工发展的方向之一.
固结磨料抛光LBO晶体的抛光液及抛光垫的参数优化
【摘 要】
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LBO晶体是非常重要的非线性光学晶体,而其精密抛光加工技术是其大尺寸应用的关键.固结磨料抛光技术把抛光粉固结在抛光垫中,采用不含抛光粉的抛光液加工,避免抛光粉颗粒损伤
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院,江苏南京,210016
【出 处】
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第十六届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
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2012年期
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