【摘 要】
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高质量、尺寸均匀、位置可控外延生长的量子点、量子线结构在单光子器件、单电子器件、半导体激光器等多个方面有着很广阔的应用前景.目前人们多采用纳米压印技术、电子束曝
【机 构】
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所江苏省苏州市工业园区若水路398号215123
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高质量、尺寸均匀、位置可控外延生长的量子点、量子线结构在单光子器件、单电子器件、半导体激光器等多个方面有着很广阔的应用前景.目前人们多采用纳米压印技术、电子束曝光技术、聚焦离子束技术与干法或湿法蚀刻技术相结合的工艺来制作亚微米及纳米尺寸的图形衬底.
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