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为解决Low-E真空磁控溅射镀膜线现场繁杂的控制信号，大量应用了现场总线技术，特别是工业以太网。本文从系统需求着手，重点介绍了分子泵控制部分的IE技术，在保证系统稳定的前提下，最大可能降低了现场信号线的敷设，降低了接线故障率和设备成本。
IE通讯技术在Low-E镀膜线的应用
【摘 要】
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为解决Low-E真空磁控溅射镀膜线现场繁杂的控制信号，大量应用了现场总线技术，特别是工业以太网。本文从系统需求着手，重点介绍了分子泵控制部分的IE技术，在保证系统稳定的前
【机 构】
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中国南玻集团 广东深圳 518067
【出 处】
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2015年中国玻璃行业年会暨技术研讨会
【发表日期】
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2015年期
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