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采用盐酸羟胺种子生长法制备了粒径约为60 nm的粒径均一、稳定的金纳米粒子;采用经典的柠檬酸_三钠还原硝酸银的方法制备了粒径约为60 m的银纳米粒子。采用3-氨基丙基-二乙氧基硅烷(APTES)对ITO玻璃表面进行硅烷化处理。在此基础上，在表面硅烷化的ITO玻璃上分别进行金、银纳米粒子的组装。
电子显微镜表征显示所制备出的纳米粒子有序膜具有分布相对均匀平整、组装密度相对较高的近于单层膜及亚单层膜的特征。将其做为SERS基底，对较低浓度的谷胱甘肽进行了SERS光谱表征。