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随着集成光子技术尤其是硅基光子集成技术的发展，提高波导器件的集成密度问题逐渐受到了较大的关注。特别是近十年来在光学相控阵、激光雷达、片上光互连等领域的对高密度波导集成的需求尤为突出。
高密度波导集成与高性能光学相控阵
【摘 要】
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随着集成光子技术尤其是硅基光子集成技术的发展，提高波导器件的集成密度问题逐渐受到了较大的关注。特别是近十年来在光学相控阵、激光雷达、片上光互连等领域的对高密度波导集成的需求尤为突出。
【机 构】
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南京大学
【出 处】
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2021光电子材料与器件发展论坛
【发表日期】
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2021年10期
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