【摘 要】
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针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,提出了相应的解决方法,并通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比
【机 构】
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高能束流加工技术国防科技重点实验室,北京航空制造研究所
【出 处】
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第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
论文部分内容阅读
针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,提出了相应的解决方法,并通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜热稳定性,对于含氢DLC膜,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大。
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