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本文报道了五种磺酸肟酯类光产酸剂.并通过1HNMR谱、13CNMR、19FNMR及元素分析进行了表征.同时研究了它们的溶解性、热稳定性、紫外吸收特性及引发光聚合反应的动力学性能,结果表明这几种产酸剂适用于405nm紫激光成像体系中及其他光致成像抗蚀体系中.
磺酸肟酯类光产酸剂的制备及性能研究
【摘 要】
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本文报道了五种磺酸肟酯类光产酸剂.并通过1HNMR谱、13CNMR、19FNMR及元素分析进行了表征.同时研究了它们的溶解性、热稳定性、紫外吸收特性及引发光聚合反应的动力学性能,结果表明这几种产酸剂适用于405nm紫激光成像体系中及其他光致成像抗蚀体系中.
【机 构】
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北京师范大学,北京100875
【出 处】
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中国感光学会第八届五次理事会暨2013年学术年会
【发表日期】
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2013年8期
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