掠射X射线荧光分析技术因具有快速、准确和无损分析的特点，被认为是最精确的用于薄膜厚度、密度和组分测试的工具之一。目前，掠射x射线分析薄膜的方式主要有两种：掠入射X射线荧光(GI-XRF)分析方式和掠出射x射线荧光(GE-XRF)分析方式。掠入射方式在微量和痕量元素分析方面显示了很大的潜力，也可以用来分析薄膜样品表面特性，但因其操作时激发光束需要以很小的掠射角入射到样品表面，所以x射线在样品表面的照射面积很大，不利于对样品进行微区分析。而掠出射方式因由于其布局方面的优点，可以结合微束扫描技术进行微区分析和薄膜表面的二维分析。 导管X光学的发展和导管X光透镜的发明以及应用，使得人们可以十分有效地利用现有的实验室X光源。由X光会聚透镜得到的X射线微束强度比通常采用小孔限束方法得到的X光束强度提高2到3个量级，因此将会聚透镜应用于掠入射X射线荧光分析，不仅可以实现样品的微区分布，同时也能大幅提高荧光强度，实现在合理的时间内对样品表面元素的二维分布分析。而平行束透镜则能利用实验室X光源获得平行X射线束。将平行束透镜应用于掠入射X射线荧光分析，则能简化实验装置，同时也能增加接收立体角，提高入射光束的强度。