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掠射X射线荧光分析技术因具有快速、准确和无损分析的特点,被认为是最精确的用于薄膜厚度、密度和组分测试的工具之一。目前,掠射x射线分析薄膜的方式主要有两种:掠入射X射线荧光(GI-XRF)分析方式和掠出射x射线荧光(GE-XRF)分析方式。掠入射方式在微量和痕量元素分析方面显示了很大的潜力,也可以用来分析薄膜样品表面特性,但因其操作时激发光束需要以很小的掠射角入射到样品表面,所以x射线在样品表面的照射面积很大,不利于对样品进行微区分析。而掠出射方式因由于其布局方面的优点,可以结合微束扫描技术进行微区分析和薄膜表面的二维分析。
导管X光学的发展和导管X光透镜的发明以及应用,使得人们可以十分有效地利用现有的实验室X光源。由X光会聚透镜得到的X射线微束强度比通常采用小孔限束方法得到的X光束强度提高2到3个量级,因此将会聚透镜应用于掠入射X射线荧光分析,不仅可以实现样品的微区分布,同时也能大幅提高荧光强度,实现在合理的时间内对样品表面元素的二维分布分析。而平行束透镜则能利用实验室X光源获得平行X射线束。将平行束透镜应用于掠入射X射线荧光分析,则能简化实验装置,同时也能增加接收立体角,提高入射光束的强度。