光干涉条纹的图象识别与三维表面形貌测量

来源 :1999年第二届表面工程国际会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:babyjoyce
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介绍了利用计算机对光干涉条纹进行图象识别的方法与过程,并根据光干涉原理计算区得三维表面的形貌数据,进而获得表面粗糙度参数与表面轮廊高度分布统计直方图。论文中几个磨削表面光干涉图象进行了识别与计算,并将结果与利用英国Form Talysurf触针式轮廊仪测量结果进行对比,两种方法Ra测量值最大相对误差3.8℅。文中还获得三维有面形貌与显微镜下样块放大照片做了对比。
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