电子束直写技术在声表面波器件制作中的应用

来源 :第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ziquan33071033
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声表面波器件从1965年诞生到现在已走过了约38年的历程,目前已经发展成为一个巨大的新兴技术产业. 在电视、广播、通信雷达、遥测遥控等领域得到了广泛的应用.成为整机系统不可缺少的关键器件.近年来由于通信技术的发展,特别是移动通信技术的发展,直接带动声表面波技术向着高频化、低插损、小型化、轻薄化、高可靠性的方向飞速发展
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