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该文介绍了磁控溅射的物理概念，评述了和于关控溅射的贵金属靶材的性能、用途、应用前景、市场分析以及国内发展贵金属靶材的思路。
磁控溅射用贵金属靶材
【摘 要】
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该文介绍了磁控溅射的物理概念，评述了和于关控溅射的贵金属靶材的性能、用途、应用前景、市场分析以及国内发展贵金属靶材的思路。
【机 构】
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有色金属研究总院
【出 处】
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首届全国贵金属学术研讨会
【发表日期】
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1997年期
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