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该文着重介绍了同步辐射前端区制造中与超高真空获得有关的诸因素。分析了设计结构、选用的材料、加工和处理工艺给超高真空带来的影响。
前端区的制造
【摘 要】
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该文着重介绍了同步辐射前端区制造中与超高真空获得有关的诸因素。分析了设计结构、选用的材料、加工和处理工艺给超高真空带来的影响。
【机 构】
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院沈阳科学仪器研制中心
【出 处】
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同步辐射光束线工程束线光学与新技术研讨会
【发表日期】
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1995年期
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