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Superresolution Nanolithography Technique Based on PDMS Soft Mold
【机 构】
:
The Institute of Optics and Electronics,Chinese Academy of Sciences,China
【出 处】
:
第6届纳米操纵、制造与测量国际会议( the International Conference IEEE 3M-NANO
【发表日期】
:
2016年5期
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针对石蜡的熔融电纺,本文研究了石蜡熔融状态下喷射的特性以及熔融温度、电场强度、收集距离和收集板的行进速度对石蜡线宽的影响.结果表明,加热温度为100℃时,在强电场的作用下高频喷射液滴,当收集板以一定的速度行进时,可得到石蜡细线,最小线宽可达52um.
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