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本文用扫描探针分析技术,研究了直流磁控溅射工艺参数对锌薄膜形态与生长的影响。结果表明,随着衬底温度和直流溅射功率的降低,锌薄膜表面形成了细密的锌岛，当溅射氢气压发生变化时,锌薄膜表面锌岛的尺寸没有明显变化,但表面粗糙度和垂直衬底最高落差随着氩气压的升高而升高。
磁控溅射制备锌薄膜的工艺与分析
【摘 要】
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本文用扫描探针分析技术,研究了直流磁控溅射工艺参数对锌薄膜形态与生长的影响。结果表明,随着衬底温度和直流溅射功率的降低,锌薄膜表面形成了细密的锌岛，当溅射氢气压发生变化时,锌薄膜表面锌岛的尺寸没有明显变化,但表面粗糙度和垂直衬底最高落差随着氩气压的升高而升高。
【机 构】
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上海工程技术大学,材料工程学院,上海,201620
【出 处】
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二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛
【发表日期】
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2008年3期
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