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通过改进电子束曝光机图形控制器的硬件设计,使矢量扫描方式工作时S形扫描的图形各边的质量一致.
改进矢量扫描型电子束曝光机图形边沿质量的一种方法
【摘 要】
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通过改进电子束曝光机图形控制器的硬件设计,使矢量扫描方式工作时S形扫描的图形各边的质量一致.
【机 构】
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山东大学控制科学与工程学院(济南)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年期
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