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基于压阻效应,依据航空领域对压力传感器提出的性能要求,本文研制了一种量程为100KPa MEMS动态绝压压力传感器.对五种不同结构的压力传感器进行了仿真计算及对比分析,综合灵敏度、线性度、响应频率及制作工艺等方面的考虑，完成了双岛膜结构压力传感器参数的优化设计.设计了传感器的加工工艺流程,利用本单位现有MEMS硅微工艺加工了压力传感器芯片，采用倒装焊技术实现了传感器的无引线、高频响、高可靠性封装,并对传感器进行了静态及动态性能测试.测试结果表明研制的压力传感器满足了设计要求。