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由于现有商用在线弯曲测量仪的局限性，为了能更好的了解图形Si衬底GaN外延生长过程中的应力变化，我们设计制造了在线弯曲测量仪，并得到了生长过程中外延片的弯曲变化。本文介绍了仪器的测量原理，硬件和软件的系统结构，发现整个测量过程中的关键点是控制步进电机的运行和数据洛仑兹拟合的准确性。根据手动测试得到的数据，本在线弯曲测量仪可以用于实验中并可精确地表示生长过程中GaN外延应力变化，外延片弯曲的变化的趋势都和目前所掌握的经验相符合。