【摘 要】
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本文基于CFD分析手段,针对流化床反应器内复杂的多晶硅CVD气-固反应过程,对流化床内的反应过程和反应时间、进口硅烷浓度、进口气速等情况进行了分析,确定了部分操作条件(进料气速5.5umf、硅烷摩尔进口浓度15%),对高纯度多晶硅实际生产工艺的设计提供理论支持.
【机 构】
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青岛科技大学化工学院 青岛266042
【出 处】
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全国第十二届非均相分离学术交流会暨2015厦门台湾两地过滤与分离技术交流大会
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本文基于CFD分析手段,针对流化床反应器内复杂的多晶硅CVD气-固反应过程,对流化床内的反应过程和反应时间、进口硅烷浓度、进口气速等情况进行了分析,确定了部分操作条件(进料气速5.5umf、硅烷摩尔进口浓度15%),对高纯度多晶硅实际生产工艺的设计提供理论支持.
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