论文部分内容阅读
介绍了用于MOCVD尾气中氨气的回收系统。该系统采用吸附和冷冻的方式回收MOCVD尾气中的氨气，然后经精馏提纯后，再循环利用。主要流程包括：过滤、吸附、冷凝、精馏等。
MOCVD尾气中氨气的回收和循环利用
【摘 要】
：
介绍了用于MOCVD尾气中氨气的回收系统。该系统采用吸附和冷冻的方式回收MOCVD尾气中的氨气，然后经精馏提纯后，再循环利用。主要流程包括：过滤、吸附、冷凝、精馏等。
【机 构】
：
ShanghaiGenTechCo.,Ltd.,Shanghai201108,China上海正帆科技有限公司,上海201108
【出 处】
：
全国特种气体第十六次年会
【发表日期】
：
2012年10期
其他文献
用55SiMnMo钢生产的中空钢在轧制后的冷校直变形过程中发生断裂失效。本文通过对截取件进行失效分析，测定了其表面显微硬度(HV值)分布、分析了截面金相组织和外表面的微区
随着人们对环境保护越来越重视，作为对人体、动植物、大气有严重危害的挥发性有机化合物(VOCs)，对其的控制也日益受到人们关注，因此，近年来对VOCs处理技术的研究也越来越多。
论文研究了对甲酚在活性炭上的吸附平衡以及搅拌槽吸附动力学.首先，采用静态吸附试验法对对甲酚的吸附平衡等温线进行了研究，并分别采用Langmuir和Freundlich方程进行拟合；
以玉米芯为原料,磷酸为活化剂,添加少量的硼酸制备活性炭,通过正交实验考察了活性炭制备过程中磷酸与玉米芯的质量比、硼酸添加量,活化温度和活化时间4个因素对活性炭性
能源是现代工业的血液，能源资源是人类社会繁荣发展的至关重要因素，人类社会发展的助推器，是保证国家安全、实现可持续发展的基础。随着低碳经济时代的到来，随着中国国民经济
以杉木屑为原料，通过在传统磷酸法工艺过程中添加辅助催化剂浓硫酸制备超高比表面积颗粒活性炭.研究浓硫酸添加量、浸渍时间以及浸渍比对颗粒活性炭(GAC)比表面积的影响.
脱硫脱硝活性焦是新华公司与原日本三菱化学卡尔冈株式会社、日本明和产业株式会社在1997年合作开发的产品,产品用途主要用于日本、韩国、澳大利亚等国的电厂或钢铁企业
以桉树木屑为原料,磷酸为活化剂,通过对磷酸浓度、浸渍比、活化温度和活化时间四个因素进行正交试验设计制备了一系列的活性炭,对其吸附性能进行了测定分析,并由氮气吸附
概述用氯碱工业副产的氢气，经脱氯、脱氧、干燥、变压吸附和低温吸附分离技术，生产工业氢、纯氮、高纯氢和超纯氢，并对该工艺技术进行评述。