非接触ESD电极移动速度影响基于Maxwell方程组的初步分析

来源 :第26届全国电磁兼容会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:juejiang12
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  非接触静电放电发生时,放电参数会受到多种环境因素(如电极移动速度、气体压强、温度等)的影响而发生明显的改变。基于在实验中通过改变电极移动速度而观测到的放电电流峰值和上升时间,试图用Maxwell方程组对引起放电结果参数明显差异的内在机制加以初步分析阐释。通过Maxwell方程组对ESD实验进行研究,有益于静电放电的根本性质的探索和推进非接触静电放电测试标准的建立。
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