【摘 要】
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在数字光刻的照明系统中,利用复眼透镜对波长365nm 发光二极管(LED)光源进行匀光设计,一种近六边形排列方式的结构能基本覆盖圆通光,而传统的方形结构随着透镜数的增加,其4 个角上的无效透镜数会越来越多,近六边形相对于方形结构能减少无效透镜数量,更加有效地利用透镜发挥匀光效能。
【机 构】
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广州市广东工业大学物理与光电工程学院
【出 处】
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2016年全国光机电技术及系统学术会议暨中国光学学会光电技术专委会/中国仪器仪表学会光机电分会会员代表大会
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在数字光刻的照明系统中,利用复眼透镜对波长365nm 发光二极管(LED)光源进行匀光设计,一种近六边形排列方式的结构能基本覆盖圆通光,而传统的方形结构随着透镜数的增加,其4 个角上的无效透镜数会越来越多,近六边形相对于方形结构能减少无效透镜数量,更加有效地利用透镜发挥匀光效能。
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