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SOI高温压阻压力传感器的开发与应用
SOI高温压阻压力传感器的开发与应用
来源 :第六届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nie492195407
【摘 要】
:
压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案,克服隔离PN结是问题的关键。通常的SOS法很不理想,该文报道了作者用微机械加工的硅衬底代替兰宝石衬底,用Si-Si直接键合工艺制作
【作 者】
:
王文襄
刘秀娥
王麦广
杨根庆
张杆雄
陆德仁
【机 构】
:
宝鸡传感器研究所
【出 处】
:
第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
压阻压力传感器
压阻式压力传感器
高温压力传感器
高温压力测量
微机械加工
直接键合
优选方案
工艺制作
硅衬底
兰宝石
理想
结构
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压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案,克服隔离PN结是问题的关键。通常的SOS法很不理想,该文报道了作者用微机械加工的硅衬底代替兰宝石衬底,用Si-Si直接键合工艺制作的SOI结构压阻高温压力传感器。
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