SOI高温压阻压力传感器的开发与应用

来源 :第六届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nie492195407
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压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案,克服隔离PN结是问题的关键。通常的SOS法很不理想,该文报道了作者用微机械加工的硅衬底代替兰宝石衬底,用Si-Si直接键合工艺制作的SOI结构压阻高温压力传感器。
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