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电化学反应中圆盘电极阵列的制备
电化学反应中圆盘电极阵列的制备
来源 :第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fyfy76
【摘 要】
:
本文提出了一种快速制备电化学反应中工作电极阵列的方法.此法利用集成电路制造工艺,将TiW-Au溅射在玻璃基片上,并通过曝光显影等加工工艺,利用感光胶SU-8作为绝缘层,制造出
【作 者】
:
程佳
朱纪军
Simon S.Ang
【机 构】
:
东南大学生物电子学国家重点实验室,东南大学
【出 处】
:
第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
电化学反应
圆盘
集成电路制造工艺
电极阵列
酚类化合物
曝光显影
快速制备
加工工艺
电极性能
玻璃基片
氰化物
绝缘层
感光胶
直径
金属
溅射
检测
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本文提出了一种快速制备电化学反应中工作电极阵列的方法.此法利用集成电路制造工艺,将TiW-Au溅射在玻璃基片上,并通过曝光显影等加工工艺,利用感光胶SU-8作为绝缘层,制造出了直径为1mm和0.5mm的圆盘电极阵列,并通过检测金属氰化物和酚类化合物,表明该电极性能优良.
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