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在实验室内,采用动态流量比混合法和指数稀释法制备10-6～10-9级浓度标准气体,重点对配气装置的工作原理进行了详细的论述.在此基础上,对比了两种配气方法的优缺点,并对配气装置稀释后的标准气体浓度进行检测验证.
一种实用的低浓度标准气体发生设备
【摘 要】
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在实验室内,采用动态流量比混合法和指数稀释法制备10-6～10-9级浓度标准气体,重点对配气装置的工作原理进行了详细的论述.在此基础上,对比了两种配气方法的优缺点,并对配气装
【机 构】
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北京高麦克仪器科技有限公司
【出 处】
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全国特种气体第十八次年会
【发表日期】
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2014年11期
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