【摘 要】
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本研究采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式有阀微泵,泵的外形尺寸为(14×14×3)mm3,泵腔体体积约20mm3,硅阀片厚度在25μm～30μm之间.通过大量试验测
【机 构】
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哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,150001
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本研究采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式有阀微泵,泵的外形尺寸为(14×14×3)mm3,泵腔体体积约20mm3,硅阀片厚度在25μm～30μm之间.通过大量试验测试,分析了泵压与工作频率;流量与工作频率的关系.当工作电压为145V、频率为100Hz时,有阀微泵稳定工作的泵压可达2m水柱高,最大流量13mL/min.分析认为:有阀微泵工作不稳定是由气穴现象造成,引起气穴产生的主要因素有:工作频率,阀片结构,以及压电驱动元件.
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