离子注入CoSi＃-[２]接触ｎ＋ｐ和ｐ＋ｎ结的形成与特性

来源 :第六届全国电子束离子束光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：acxyvpfag

【作者】

：

刘平李炳宗姜国宝

【机构】

：

复旦大学

【出处】

：

第六届全国电子束离子束光子束学术年会

【发表日期】

：

1991年期

【关键词】

：

离子注入

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