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第5代LCD液晶显示器件洁净室的布置一般采用三层结构形式，即底层为回风静压箱以及工艺设备的附属配管、配线区，中层为生产工艺洁净区，上层为送风静压箱。本文对TFT-LCD工厂洁净室的净化空调系统的设计考虑进行探讨。
薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD洁净室净化空调系统初探
【摘 要】
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第5代LCD液晶显示器件洁净室的布置一般采用三层结构形式，即底层为回风静压箱以及工艺设备的附属配管、配线区，中层为生产工艺洁净区，上层为送风静压箱。本文对TFT-LCD工厂洁净
【机 构】
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中国电子工程设计院
【出 处】
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第十八届国际污染控制学术会议
【发表日期】
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2006年9期
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