【摘 要】
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本文分析目前太阳能电池生产扩散工艺中高纯三氯氧磷(文中简称磷源)供料模式的特性和缺点,在此基础上提出了一种新型磷源供料系统——PSS(Phosphorus Safe Supply)系统,该系统采用高纯PFA桶(文中简称PFA桶)代替石英瓶,PSS恒温供料装置代替水浴锅、冷阱作为恒温供料装置。本文从PFA桶的材料、结构、设计和PSS恒温供料装置的结构组成及特点等方面进行了研究分析,分析得出PSS系统
【出 处】
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SNEC 第十届(2016)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛
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本文分析目前太阳能电池生产扩散工艺中高纯三氯氧磷(文中简称磷源)供料模式的特性和缺点,在此基础上提出了一种新型磷源供料系统——PSS(Phosphorus Safe Supply)系统,该系统采用高纯PFA桶(文中简称PFA桶)代替石英瓶,PSS恒温供料装置代替水浴锅、冷阱作为恒温供料装置。本文从PFA桶的材料、结构、设计和PSS恒温供料装置的结构组成及特点等方面进行了研究分析,分析得出PSS系统具有安全性高、人工操作少、能耗低的特点,在太阳能电池片生产扩散工艺中具有很好的应用前景。
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