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Effect of Vacuum Arc Plasma State on the Property of Nitride Coatings Deposited by Conventional and
【机 构】
：
Materials Research Lab.Kobe Steel Ltd.,1-5-5 Takatsukadai Nishiku,Kobe Hyogo,Japan
【出 处】
：
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
：
2011年期
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