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微波功率源对MWPCVD金刚石膜的沉积质量有较大影响，实验发现，当微波功率源的输出功率以一定的规律稳定脉动时，所沉积出的金刚石膜中的非金刚石相碳含量急剧降低。
微波功率源对MWPCVD金刚石膜沉积质量的影响
【摘 要】
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微波功率源对MWPCVD金刚石膜的沉积质量有较大影响，实验发现，当微波功率源的输出功率以一定的规律稳定脉动时，所沉积出的金刚石膜中的非金刚石相碳含量急剧降低。
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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第九届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
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1999年8期
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