【摘 要】
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利用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性,在(100)硅片上制做出光开关结构,对制作的光开关采用精密光纤调整架进行光纤耦合对准,并对耦合好的开关进行性能测试和分析.设计并建立
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室,长春,130012
【出 处】
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全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议
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利用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性,在(100)硅片上制做出光开关结构,对制作的光开关采用精密光纤调整架进行光纤耦合对准,并对耦合好的开关进行性能测试和分析.设计并建立了开关时间的测试系统,对开关时间和开关寿命进行测量.采用其他相关仪器测量了光开关的光学特性,包括插入损耗和串话.测试结果表明,制作的光开关基本满足光网络的需要.测试分析制作光开关的性能,为以后更进一步研究光开关提供了依据,并有助于在光网络中更加合理的利用.
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