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硅基薄膜材料因其无毒、原材料丰富、高效率和低成本的特点，最新研究发现的纳米晶量子效应，可通过控制膜系中Si纳米晶的尺寸大小来改变其光学性能，进而实现对光谱的调制，在研究如何提高太阳能电池效率方面具有广阔的应用前景。本文利用热丝化学气相沉积法在玻璃表面对SiO2包埋的Si纳米晶进行了尝试性制备，并对薄膜进行表面形貌和光学性能等方面的测试，在制备的薄膜样品中找到了硅纳米晶颗粒的存在，该薄膜结构对近红外和可见光部分有很好的透过性。