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本文介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器。根据动力学微分方程模型,对器件的谐振特性进行模拟,分析了在不同电压下的非线性效应。模拟结果表明，以Si3N4为功能材料,最小线宽175纳米的器件,其谐振频率18.1MHz,采用双悬梁支撑结构有效的抑制了扭转模式谐振的干扰。
一种用于质量传感器和电荷探测的新型纳米谐振器
【摘 要】
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本文介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器。根据动力学微分方程模型,对器件的谐振特性进行模拟,分析了在不同电压下的非线性效应。模拟结果表明，以Si3N4为功能材料,最小线
【机 构】
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清华大学微电子研究所,北京,100084
【出 处】
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2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会
【发表日期】
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2005年期
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