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在分析平面止回阀微泵结构与工作原理的基础上，对其进行了一定的假设与合理的简化，利用动力学原理对其模型进行了研究，获得了微泵流率与工作频率、工作压力等参数的关系；利用数值求解的方法，对微泵流率模型进行了求解，获得了微泵流率在不同工作压力、微腔高度以及微腔半径下随工作频率变化的模拟结果，同时获得了微泵工作膜在不同工作频率下随时间的变形规律，最后给出了一定条件下（工作压力、微腔高度以及微腔半径）模拟结果与实验结果的对比。研究结果表明：基于平面止回阀微泵模型获得的模拟结果符合实际，且与实验结果相比具有很好的一致性，从而验证了所获模型的正确性与准确性。