六角形自聚焦微透镜研究

来源 :第十届全国光子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gongshan

【摘要】

：

　　制作六角形孔径的微透镜元是提高微透镜阵列填充因子的有效途径.采用高温熔盐离子交换工艺，以铊玻璃为原料，研制出了横截面对边距为1mm的六角形自聚焦微透镜.此微透镜成像

【作者】

：

蒋小平刁润缪雪丽

【机构】

：

西南大学

【出处】

：

第十届全国光子学学术会议

【发表日期】

：

2016年4期

【关键词】

：

集成光学六角形自聚焦透镜填充因子折射率分布

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　　制作六角形孔径的微透镜元是提高微透镜阵列填充因子的有效途径.采用高温熔盐离子交换工艺，以铊玻璃为原料，研制出了横截面对边距为1mm的六角形自聚焦微透镜.此微透镜成像质量良好，近场光斑尺寸达2.6μm；其畸变、数值孔径和折射率分布均与六角形对边的中垂线成轴对称渐变；折射率分布轮廓自中心向边沿由圆形渐变为六角形，制作的微透镜阵列填充因子达到96.1％.

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