【摘 要】
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应用溶胶-凝胶法成膜技术，用金属盐和部分金属醇盐与醋酸盐混合物制备了BaSrTiO（BST）薄膜，其中组分为BaSrTi薄膜，介电常数高，C-V特性较好，另外还制备了BaSr（ZrTi）O（BSZT）薄膜，发现Zr的掺
【机 构】
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师范大学新技术新材料研究所(桂林)
【出 处】
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第三届中国功能材料及其应用学术会议
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应用溶胶-凝胶法成膜技术，用金属盐和部分金属醇盐与醋酸盐混合物制备了BaSrTiO<,3>（BST）薄膜，其中组分为Ba<,0.7>Sr<,0.3>Ti<,0.3>薄膜，介电常数高，C-V特性较好，另外还制备了BaSr（ZrTi）O<,3>（BSZT）薄膜，发现Zr的掺入，增加了凝胶的稳定性，并提高了薄膜的介电常数。
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