TiO,2MgF,2薄膜的湿敏特性

来源 :第十二届华东六省一市物理学联合年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shanwq1983
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采用真空镀膜技术制备了TiO<,2>:MgF<,2>薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.
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