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射频微电子机械系统技术为重量和功率严格受限的平台实现电子扫描提供了新方法和新机遇。本文首先概述了射频微电子机械系统的主要优势及在雷达领域的主要应用方向，在此基础上重点介绍了基于射频微电子机械系统技术的T/R组件设计，以及利用MEMS技术实现的X波段相控阵天线演示验证系统、Ka波段低成本无源相控阵，以及基于MEMS的下一代相控阵研究项目的最新进展情况。